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上海硅酸鹽所碳化硅晶錠制備與晶圓片加工研究和技術研發躍上新臺階
2019-09-26 16:13:46 | 【 【打印】【關閉】

  在國家有關部委和中國科學院科技促進發展局的支持下,中國科學院上海硅酸鹽研究所碳化硅晶體項目部在系統掌握氣相組分在籽晶誘導下結晶過程規律的基礎上,近期研制成功新型碳化硅晶錠制備設備,其中包括集成石英玻璃鐘罩與金屬鐘罩兩者長處的新型PVT制備設備和HTCVT制備設備。目前,前者已投入日常制備實驗,后者已完成集成調試。研究人員使用新型PVT制備設備,開發了籽晶拼接技術和溫度梯度/氣相組分過飽和度綜合調控技術,制備出滿足加工直徑150mm6inch)和200mm8inch)晶圓片要求的晶錠;同時開發出晶錠多頭制備技術,一批次實驗同時制備出3個滿足加工直徑100mm4inch)晶圓片要求的晶錠,大幅度降低了制備成本、提高了制備效率。研究人員還將晶錠多頭制備技術移植到同類設備上,一批次同時制備出3個滿足加工直徑50.8mm2inch)晶圓片的晶錠,驗證了該項技術的成熟度和可復制性。 

  此外,在湖州市政府的支持下,研發人員在湖州南太湖科創中心建成了碳化硅晶錠制備和晶圓片加工示范線,由18PVT制備設備為主體的晶錠制備線和整形/研磨/拋光/CMP/清洗晶圓片加工線已投入正常運行,并研制成功晶錠專用整形一體設備,開發了全自動晶圓片研磨拋光一體技術。20191-8月的晶圓片加工數量是2017年全年的9.77倍。總體上,項目部在碳化硅晶錠制備和晶圓片加工研究與成套技術開發上跨上了新臺階。    

碳化硅晶錠

碳化硅晶錠整形加工一體機 

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