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上海硅酸鹽所人工晶體研究中心召開第三十七期學術講壇
2019-10-09 08:55:55 | 【 【打印】【關閉】

  923日上午,中國科學院上海硅酸鹽研究所在嘉定園區G3樓報告廳舉辦了“獨立建所60周年學術活動”之第三十七期人工晶體講壇。邀請同濟大學物理學院徐軍教授和中國科學院上海微系統與信息技術研究所歐欣研究員作為主講嘉賓,為上海硅酸鹽所、同濟大學、中國科學院上海光學精密機械研究所等單位的70余名科研人員與研究生分別作了題為“我國藍寶石產業對晶體生長技術的推動及關于激光晶體發展態勢的思考”和“先進硅基襯底材料及應用”的報告。報告會由中國科學院原副院長、上海張江綜合性國家科學中心常務副主任、人工晶體研究中心學術委員會主任施爾畏研究員主持。施爾畏代表上海硅酸鹽所向徐軍教授和歐欣研究員表示熱烈歡迎和誠摯感謝,并簡要介紹了兩位報告人在其領域方面取得的科學成果,希望與會人員能從兩位科學家的報告中得到啟示。   

  徐軍教授在報告中介紹了藍寶石產業化發展歷史、現狀、高/低端應用以及未來的應用前景。詳細介紹了藍寶石晶體生長的方法以及研究進展,重點介紹了其研究團隊自主研發的導模法工藝以及取得的成果,如:300*600*12 大板條、內/外徑分別為F31/58mmF50/65mm且長度超過300mm的大尺寸厚壁單晶圓管、F60×350mm藍寶石晶棒、F0.42-0.44mm藍寶石光纖等。徐軍教授還針對激光晶體發展態勢闡述了自己的觀點,提出了激光晶體今后的主要發展趨勢,并提出實現激活離子局域配位結構調控是關鍵基礎科學問題之一,提出了建立激光晶體數據庫的必要性和迫切性。   

  歐欣研究員介紹了半導體集成電路與全球經濟的相關性,高端硅基襯底材料的發展方向以及我國半導體產業發展現狀。介紹了其研究團隊在SOISilicon-On-Insulator)技術方面取得的成果,如SOI技術路線、開發國際最低注氧劑量SOI材料制備技術及其應用。針對后摩爾時代、5G時代非硅材料的需求,其團隊發展了異質集合XOI技術,利用“萬能離子刀”硅基異質集成精準剝離技術,將-Ⅴ族半導體、寬禁帶半導體、硅基鈮酸鋰/鉭酸鋰等功能材料與硅基(Si/SiO2/SiC)襯底集成,解決XOI材料集成中多物理失配問題,建立XOI材料制備技術體系和中試平臺,為后摩時代核心光子、電子及量子器件提供關鍵材料支撐。   

  報告會中,與會人員與報告人就感興趣的問題展開了熱烈的交流與討論。 

施爾畏研究員主持報告會

同濟大學徐軍教授作報告

中國科學院上海微系統與信息技術研究所歐欣研究員作報告

交流提問現場

報告會現場 

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